是一種射線式分析儀器,是X射線分析儀器的一種常用形式。X射線熒光光譜儀能分析原子序數(shù) 12～92的所有元素，選擇性高，分析微量組分時受基體的影響小，在地質(zhì)、采礦和冶金等部門應(yīng)用很廣。
根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量。因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。
X熒光光譜儀的優(yōu)點：
1、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析
2、分析精密度高。目前含量測定已經(jīng)達到ppm級別
3、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析
4、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
5、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。
6、分析速度快。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。
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