XRF在元素定性上有ICP*的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)在定量上同樣可以和任何一種元素分析儀器相媲美。XRF樣品基本不用前處理，而用ICP，樣品需要進(jìn)行化學(xué)處理為溶液。對(duì)于XRF來(lái)說(shuō)，樣品的前處理有很大的技巧性。塊狀金屬，基本上磨一下測(cè)量面就可以了，非塊狀樣品如果采用壓片法那就要求磨至一定的粒度以下，要不粒度效應(yīng)會(huì)比較嚴(yán)重。采用熔融法是處理樣品的一種方式了，只不過(guò)形成的是一種固體溶液。而ICP毫無(wú)疑問(wèn)必須溶成溶液。
　　XRF可以迅速定性，元素定性方面無(wú)人能比，像紅外在有機(jī)官能團(tuán)定性一樣迅速。
　　定量方面，相比看來(lái)ICP定量較為簡(jiǎn)單實(shí)在，易于操作。XRF做標(biāo)樣和樣品處理需要配套的制樣設(shè)備，包括壓片機(jī)和熔樣爐等，不易操作。但是不能下XRF不能定量的結(jié)論，相對(duì)于測(cè)純金屬、合金含量分析，XRF是比ICP更合適。XRF與ICP配合起來(lái)用，利用XRF定性優(yōu)勢(shì)配合ICP前處理及基體匹配，從而做到定量方便快捷。
　　XRF定性分析比較方便，但是定量的結(jié)果沒(méi)有ICP好，就算有標(biāo)樣進(jìn)行校正也存在誤差;但是ICP比較適合微量分析，主體成分的話容易帶入稀釋誤差。
　　XRF是檢測(cè)物質(zhì)中各種氧化物和元素的含量，以及成分分析。ICP一般應(yīng)用于溶液中化合物離子的含量分析。
　　XRF在表面化學(xué)分析方面很準(zhǔn)，但是必須購(gòu)買對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)品，用來(lái)繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線。此外，XRF的樣品需要前處理的，也必須滿足很多條件，比如表面光滑、成分均勻才能保證結(jié)果的準(zhǔn)確。比如粉碎或者融片之類的，都是為了讓成分均勻。而ICP測(cè)溶液中的PPM級(jí)的元素含量。如果保證操作得當(dāng)、曲線配置好的話，結(jié)果也會(huì)相當(dāng)準(zhǔn)。