特征X射線及其衍射X射線是一種波長(0.06-20nm)很短的電磁波,能穿透一定厚度的物質(zhì),并能使熒光物質(zhì)發(fā)光、照相機乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產(chǎn)生X射線,它具有靶中元素相對應的特定波長,稱為特征X射線。如銅靶對應的X射線波長為0.154056 nm。
X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀是半導體材料的標準裝備,用于: 材料科學和納米技術,半導體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制,可以適用各種應用,尤其適合薄膜分析,例如: 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping, 反射率和薄膜相分析,殘余應力和織構分析, X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導體、LED、薄膜和工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達 300 mm的晶片分析,并有精密的自動晶片裝載選擇;XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段,LED的業(yè)界標準。
X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀技術參數(shù):
1,功率:3kW
2,測角儀重現(xiàn)性:0.0001度
3,測角儀類型:T-2T
4,五維樣品臺