利用x射線熒光光譜儀進(jìn)行定量分析的時(shí)候，大致可以分為3個(gè)方法。

　　1、是制作測(cè)量線的方法（經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法）。這個(gè)方法是測(cè)定幾點(diǎn)實(shí)際的已知濃度樣品，尋求想測(cè)定元素的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度和濃度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測(cè)定未知樣品的X熒光光譜儀X射線，從而得到濃度值。

　　2、是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個(gè)方法在了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計(jì)算的各個(gè)X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的理論值，推測(cè)測(cè)定得到未知樣品各個(gè)元素的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的組成一致。

　　3、參數(shù)計(jì)算出樣品中每個(gè)元素的一次和二次特征X射線熒光強(qiáng)度的。基于此再計(jì)算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增應(yīng)。它與經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上的，而非建立在“經(jīng)驗(yàn)”上。因而它也不需要那么多的標(biāo)樣，只要少數(shù)標(biāo)樣來(lái)校準(zhǔn)儀器因子。

　　x射線熒光光譜儀的優(yōu)點(diǎn)：

　　1、分析速度高。測(cè)定用的時(shí)間與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。

　　2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定。

　　3、非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

　　5、分析精密度高。

　　6、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。